金刚石涂层用硬质合金基体表面预处理？（2）

表1　一步法除Co 的浸蚀液成分与时间
一步法除Co 的浸蚀液成分与时间相、再用酸浸蚀除Co 相的二步法, 目前已受到世界各国的高度重视, 并在研究和应用当中取得了很好的效果。近几年来有关二步法的研究详细情况见表2。
二步法除Co 有比较好的效果, 但是, Haubner等认为浸蚀法除Co, 会使基体表面产生孔隙, 这些孔隙在涂层之后仍残留在基体与涂层的界面上,
影响基体与涂层的粘结效果。为了解决界面上残留孔隙的问题, 在基体与涂层之间形成中间过渡层或中间化合物的研究引起了人们广泛的兴趣。
 

表2　二步法除Co 的浸蚀液成分与时间
2.2　在基体与涂层之间形成中间过渡层或中间化合物
用CVD, PVD 或PCVD 等工艺方法, 可以在硬质合金基体表面上制得各种中间过渡层或中间化合物, 有效地消除或减弱Co 的负面影响, 改善金刚石涂层与硬质合金基体的粘结性。有关研究详见表3。制备的各种中间过渡层, 可以完全覆盖在基体表面上, 防止Co 的负面影响, 但金刚石的形核率却很低, 使沉积变得困难。在基体表面原位形成各种稳定的Co 中间化合物(如: 硼化物、硅化物、铝化物等) , 看来是一种更好的改善金刚石涂层与基体粘结效果的方法。介绍了表面原位CoxBy 的形成, 在沉积初始过程中, 加入B 化物[B (C2H5) 3 ], 可以促进金刚石的生长, 虽然表面形成的CoxBy 中间化合物很薄, 却能有效地阻止Co 相的迁移, 并使Co 的蒸气压下降几个数量级。但是, 在这种CoxBy 中间化合物上生长的金刚石呈明显的片状, 并没有改善金刚石涂层与硬质合金基体的粘结性。看来有关这方面的研究仍需深入。
 

表3　过渡层的成分、厚度、制备方法
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